PolyCHECK无尘布 / 收集外来的粒子样本

更新时间: 09/22/2023 上传者: 59Clean

PolyCHECK® 是一种清洁验证和污染源分析工具，专用于检测污染物，因为它具备以下特点，使工程师能够迅速且有效地採样设备表面，并收集无尘室中的外来粒子。PolyCHECK® 能够在表面上吸附和收集污染物，这使得将污染物放置到扫描电子显微镜 (SEM) 上进行分析更加容易。此外，它还可用于进行能量色散X射线(SEM/EDX)和傅立叶转换红外光谱仪(FTIR) 分析。

PolyCHECK® 的制造材料採用无尘室级别的聚酯纤维，专门设计用于在表面进行乾拭后吸附和收集污染物。其吸附和保留大型设备表面的污染物，有助于工程师在检验室识别污染源。PolyCHECK® 设计用于协助SEM/EDX技术人员快速将收集的污染物转移到扫描电子显微镜SEM上，以进行进一步的分析。同时，搭配Foamtec的检验室以了解污染物的来源以及成分。

PolyCHECK® 还提供了专用的棉花棒，可用于採集小面积的表面样本，以确保对各种细节的检查。

有别于一般工具，PolyCHECK® 採用黑色布料，这有助于简化对有机粒子污染物的视觉检查，因为这些污染物在暴露于紫外光源时会发出萤光信号，更容易检测和辨识。

优势

• 可以在无尘室中从大面积表面(如工作台、机台、真空室、机器手臂、设备等等)收集污染物。

• 可以更快速地进行失效模式与影响分析(FMEA)，以找出污染物来源的根本，以解决CAPA(矫正及预防措施)、刮痕事件和污染物异常调查。

• 积极实施改进计划，以减少污染源。

应用领域

• 搭配紫外光使用，PolyCHECK® 能够验证清洁后的真空腔体、前端模组、晶圆转移系统等设备

• • 适用于取样晶圆处理设备的表面、工具和元件，以识别污染源。

PolyCHECK的运作方式