ScrubPADS® 是專利濕乾塗層磨料，專為半導體晶圓廠的製程設備清除殘留物、鏽跡和副產品而設計。ScrubPADS® 廣泛用於200mm和300mm的晶圓廠，用於PM或濕式CVD、PECVD、乾式蝕刻、PVD和離子注入設備。ScrubPADS® 的金屬和可移動離子含量極低，並提供多種鑽石、碳化矽和氧化鋁磨料，以實現安全高效的濕式清潔BKMs。與UltraSOLV® 海綿、無塵布和棉棒一起使用的ScrubPADS® 可降低清潔時間、機台停機時間以及關鍵製程設備的污染水平。

主要特點:

• 不同的粗度選擇，可快速去除鋁、不銹鋼、陶瓷、石英和陽極氧化表面的製程殘留物，同時最大程度減少工具磨損。

• ScrubPADs的無纖維結構極大降低了清潔工具中的汙染物含量。

• 獨特的沾黏技術降低磨沙顆粒的掉落，使PM程序更加清潔。

• 一同使用UltraSOLV® 海綿進行清潔，並延長使用壽命。

• 透過使用洗滌磨料，最大程度減少有害的離子殘留物。

• 允許在PM中消除H2O2，從而大幅減少停機時間。

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